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电子行业用超纯水设备简介
2016-1-3

       半导体、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件、微电子工业、大规模、超大规模集成电路需用大量的纯水、高纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高,线宽越窄,对水质的要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。

电子工业制备超纯水的工艺大致分成以下3种:
       1、采用离子交换树脂制备电子工业超纯水的传统水处理方式,其基本工艺流程为:原水—多介质过滤器活性炭过滤器精密过滤器中间水箱阳床阴床混床(复床)超纯水箱超纯水泵后置保安过滤器用水点

       2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合制备电子工业超纯水的方式,其基本工艺流程为:原水多介质过滤器活性炭过滤器精密过滤器中间水箱反渗透设备混床(复床)超纯水箱超纯水泵后置保安过滤器用水点

       3、采用反渗透设备与电去离子(EDI)设备进行搭配制备电子工业超纯水的的方式,这是一种制取超纯水的最新工艺,也是一种环保,经济,发展潜力巨大的超纯水制备工艺,其基本工艺流程为:原水多介质过滤器活性炭过滤器精密过滤器中间水箱反渗透设备电去离子(EDI)超纯水箱超纯水泵后置保安过滤器用水点
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